德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 六足臺 H-824.G2

一、H-824.G2六足位移臺產品特點：

10公斤負載，45 毫米/25度行程，0.3微米位移，±0.1 微米/±2微弧度重復精度，25毫米/秒運動速度。

二、H-824.G2六足位移臺產品應用領域：

H-824.G2六足位移臺主要應用領域為顯微操縱，生物技術，半導體制造。

三、H-824.G2六足位移臺產品參數：

行程參數：

主動軸：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程：±22.5毫米

Z向上的行程：±12.5毫米

θX、θY向上的行程：±7.5度

θZ向上的行程：±12.5度

精度參數：

促動器設計分辨率：0.007微米

X、Y和Z向上的位移：0.3微米

θX、θY、θZ向上的位移：3.5微弧度

X、Y向上的空回：2微米

Z向上的空回：0.7微米

θX、θY向上的空回：14微弧度

θZ向上的空回：17微弧度

X、Y向上的重復精度：±0.25微米

Z向上的重復精度：±0.1微米

θX、θY向上的重復精度：±2微弧度

θZ向上的重復精度：±2微弧度

X、Y和Z向上的速度：1毫米/秒

θX、θY、θZ向上的速度：11毫弧度/秒

Typ.X、Y和Z向上的典型速度：0.5毫米/秒

Typ.θX、θY、θZ向上的速度：5.5毫弧度/秒

負載參數：

X、Y向上的剛性：1.7牛/微米

Z向上的剛性：7牛/微米

負載能力（底板為水平方向）：10千克

負載能力（底板為任意方向）：2千克

保持力（斷電、底板為水平方向）：100牛

保持力（斷電、底板為任意方向）：50牛

其他參數：

電機類型：直流齒輪電機

工作溫度范圍：-10到50°C

材料：鋁

質量：8千克

電纜長度：3米

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