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德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)

更新時(shí)間:2024-05-16

訪問(wèn)量:1428

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái),掃描顯微鏡,超分辨率顯微鏡,生物技術(shù),掩模/晶圓定位,樣本定位,干涉測(cè)量,計(jì)量
品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口產(chǎn)品種類電動(dòng)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,綜合

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷位移臺(tái) P-541.XCD



應(yīng)用領(lǐng)域:

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術(shù)

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測(cè)量

計(jì)量


產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào):P-541.ZCD

主動(dòng)軸:Z

集成傳感器:電容式

-20120 伏時(shí)Z向上的開(kāi)環(huán)行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時(shí)的開(kāi)環(huán)偏擺角:–毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程:100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:–毫弧度

Z向上的分辨率,開(kāi)環(huán):0.2納米

θX、θY向上的開(kāi)環(huán)分辨率:–微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率:0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.03%

Z向上的重復(fù)精度:<2納米

θX、θY向上的重復(fù)精度:–微弧度

θX、θY向上的串?dāng)_(Z向運(yùn)動(dòng)):±15微弧度


產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào):P-541.TCD

主動(dòng)軸:Z,θX,θY

集成傳感器:電容式

-20120 伏時(shí)Z向上的開(kāi)環(huán)行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時(shí)的開(kāi)環(huán)偏擺角:±0.6毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程:100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:±0.4毫弧度

Z向上的分辨率,開(kāi)環(huán):0.2納米

θX、θY向上的開(kāi)環(huán)分辨率:0.02微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率:0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:0.08微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.03%

Z向上的重復(fù)精度:<2納米

θX、θY向上的重復(fù)精度:0.01微弧度

θX、θY向上的串?dāng)_(Z向運(yùn)動(dòng)):±15微弧度


德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷位移臺(tái) P-541.XCD




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